等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場＋電子→高能電子
(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

過程一：高能電子直接轟擊
過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片
O2 + 2e→ 2O-
O2 + O- → O3 + e
H2O + 2e→ H- + HO-
H2O + O- + e→ 2HO-
H- + O2 → HO- + O
C(a+b)H(n+n)O(x+y) + 2e→ CaHmO-x + CbHnO-y
過程三：分子碎片氧化
CaHmOx + HO-→ CO2 + H2O
CaHmOx + O-→ CO2 + H2O
CaHmOx + O2→ CO2 + H2O
CaHmOx + O3→ CO2 + H2O
經過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關反應機理如下：
H2O + e → H- + HO- + e
H- + O3 → O2 + HO-
HO- + O3 → HO2- + O2
HO2- + O3 → HO- +O2
因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

產品性能綜述

1.放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
2.反應快，不受氣速限制。
3.采用防腐蝕材料。
4.只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。
5.設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。
6.氣阻小，適用于大風量的廢氣處理。

產品適用范圍

低溫等離子體廢氣處理設備產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分異味分子均能被分解，處理對象廣泛，可用于醫藥化工、瀝青煙氣、重油廢氣、橡膠塑料廢氣、油墨涂料廢氣、烘干廢氣、污泥干化廢氣、飼料和肥料加工廠、污水泵站、各類污水處理廠等諸多行業存在的有機廢氣、異味、惡臭等污染問題。
★含硫的化合物，如硫化氫、硫醇類、二甲基硫、硫醚類及含硫的雜環化合物等。
★含氮的化合物，如氨、胺類、腈類、硝基化合物及含氮雜環化合物等：碳、氫或碳、氫、氧組成的化合物（低級醇、醛、酯等）。
★苯系物、如苯乙烯、苯、甲苯二甲苯等；含鹵素化合物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳、二氯甲烷等。
★酯類，如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯等。
★因蒸煮、發酵產生的超飽和含異味的濕氣，主要應用領域；味精、醫院化工、污泥干化等行業。
★對《國家惡臭污染控制標準》中規定的八大惡臭物質硫化氫、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫均能有效去除。